Ngăn chặn sự nhiễm bẩn của wafer ngay từ đầu
Trong các dây chuyền sản xuất chip bán dẫn với khối lượng sản xuất lớn, việc ống đèn bị nổ không chỉ gây ra nhiều rắc rối mà còn là một thảm họa thực sự. Khi một ống thạch anh thông thường bị hỏng, nó không chỉ ngừng hoạt động mà còn tạo ra những hạt bụi và chất hóa học có hại cho các tấm silicon. Chỉ cần một vụ nổ nhỏ thôi cũng đủ khiến toàn bộ sản phẩm bị hư hỏng. Đó là lý do tại sao chúng tôi phải suy nghĩ lại cách chế tạo những chiếc đèn IR không chứa ozone.
Vấn đề liên quan đến ozone
Hầu hết các đèn IR sóng ngắn đều phát ra bức xạ ở bước sóng khoảng 185nm. Vấn đề là bức xạ này tác động lên oxy trong không khí, tạo ra ozone. Ozone rất nguy hiểm; nó có tính ăn mòn cao, có thể làm hư hại các bộ phận bên trong máy móc, đồng thời ảnh hưởng đến cấu trúc bề mặt của các tấm silicon. Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng loại thạch anh đặc biệt có khả năng lọc bỏ các bước sóng VUV. Như vậy, ozone sẽ không thể được tạo ra nữa. Rất đơn giản phải không?
Giải quyết vấn đề nhiệt độ
Các chu kỳ hoạt động với tải trọng cao rất khắc nghiệt. Nhiệt độ thay đổi rất lớn, và đó chính là lúc thạch anh dễ bị nứt. Để tránh điều này, chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Loại thạch anh này ít bị giãn nở hoặc co lại hơn so với loại thạch anh rẻ tiền. Chúng tôi cũng tăng cường tính kín khít giữa dây tóc đèn và các bộ phận khác, để khí không thể thoát ra ngoài. Nếu chu kỳ hoạt động của đèn bị gián đoạn, đèn sẽ chỉ bị cháy mà thôi, không bị nổ.
Những điều cần lưu ý
Không có gì là miễn phí cả. Việc sử dụng các bộ lọc để chặn một số bước sóng cụ thể sẽ khiến bức xạ phát ra có sự thay đổi nhỏ. Bạn có thể nhận thấy tốc độ gia nhiệt có chút khác biệt. Bạn cần điều chỉnh thời gian sử dụng đèn hoặc tăng mật độ công suất để đạt được kết quả tương tự như khi sử dụng đèn thông thường.
Cách vận hành đèn
Chúng tôi thiết kế những chiếc đèn này để có thể thay thế dễ dàng. Chúng rất dễ thay thế. Hãy kiểm tra kỹ xem nguồn điện cung cấp có phù hợp với công suất của đèn mới hay không. Tuyệt đối không nên tăng điện áp quá mức để bù đắp cho sự mất nhiệt – đó là con đường dẫn đến việc dây tóc đèn bị cháy hoặc ống đèn bị nổ.
Một mẹo nhỏ: Hãy giữ cho các quạt làm mát luôn sạch sẽ. Những điểm nóng trên bề mặt thạch anh chính là kẻ thù của đèn.