Trong quy trình in ấn bằng kỹ thuật litography, sự dịch chuyển chỉ 0,5 độ trong quá trình nung ở nhiệt độ thấp hoặc cao cũng là một yếu tố quan trọng. Sự dịch chuyển này biểu hiện qua sự thay đổi độ dày của lớp phim, khả năng bám dính kém, và tỷ lệ sản phẩm tốt giảm sau khi xử lý bằng hóa chất etching. Chúng tôi đã thiết kế các máy sấy phim để loại bỏ những yếu tố gây biến động này, giúp quy trình luôn diễn ra trong phạm vi cho phép – từ wafer này sang wafer khác.
Những yếu tố quan trọng trong quy trình xử lý phim ảnh Chúng tôi sử dụng các bộ phát ánh sáng NIR với khả năng kiểm soát phổ ánh sáng chính xác, nhằm gia nhiệt trực tiếp lên lớp phim ảnh. Điều này giúp giảm thời gian cần thiết để lớp phim đạt nhiệt độ mong muốn, đồng thời mang lại hiệu suất nhiệt tốt hơn. Độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C, và độ lặp lại của quá trình nung vẫn nằm trong phạm vi cho phép, ngay cả sau hàng nghìn lần thực hiện. Thiết bị này có thể hoạt động trong môi trường sạch cấp độ 1–100, và chúng tôi đảm bảo không có hạt bụi nào được tạo ra tại điểm tiếp xúc giữa thiết bị và wafer. Thiết bị được thiết kế để hoạt động liên tục 24/7, với thời gian hoạt động lên đến 5.000 giờ mà vẫn giữ được hiệu suất ổn định.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình xử lý phim ảnh? Quá trình nung ở nhiệt độ thấp nhằm ổn định độ nhớt của lớp phim và loại bỏ chất dung môi. Còn quá trình nung ở nhiệt độ cao thì giúp cố định cấu trúc của lớp phim trước khi tiến hành quá trình etching. Với loại máy sấy này, bạn có thể đạt được độ đồng đều cao trong suốt quy trình nung, từ đó giảm thiểu các khuyết tật và việc phải sửa chữa lại. Kết quả là chất lượng lớp phim được cải thiện, độ ổn định của lớp phim cao hơn, và quá trình etching diễn ra một cách dễ dàng hơn. Việc điều chỉnh nhiệt độ diễn ra nhanh chóng, với sai số tối thiểu, giúp tiết kiệm năng lượng. Thời gian sử dụng lâu dài của máy sấy cũng giúp giảm chi phí thay thế linh kiện và thời gian bảo trì.
Chi tiết kỹ thuật Các máy sấy này có thể được lắp đặt trong các dây chuyền sản xuất thông thường. Tuy nhiên, bạn cần kiểm tra xem liệu máy có được lắp đặt chính xác so với vị trí của wafer và cấu trúc của buồng nung hay không. Bạn cần thực hiện một vài thử nghiệm ban đầu để xác định thời gian nung, cường độ ánh sáng và mức nhiệt phù hợp với công thức sản xuất cụ thể của mình. Hãy đảm bảo rằng máy hoạt động trong khoảng điện áp được chỉ định; nếu vượt quá giới hạn này, độ đồng đều của nhiệt độ và tuổi thọ của máy sẽ giảm nhanh.