מיוצר במפעל לייצור גליית חום בסין

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 1°C בטמפרטורה במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט מספיק כדי לגרום לשינוי בממדים החיוניים של הוואפר, מה שעלול לגרום לפסולת....