Lampada per la cottura del fotoresist
Nel processo di litografia, un’oscillazione di mezzo grado durante la fase di essiccazione del fotoresist non rappresenta semplicemente un valore...
Riscaldatore per cottura resist e beam
On the fab floor, una cottura del resist e-beam non è un semplice riscaldamento. È un ancoraggio di processo.
Se si verifica una deriva di 2°C sulla...