
방 전체를 뜨겁게 만드는 것을 그만두세요(그리고 기술자들도 마찬가지입니다).
만약 여러분이 반제품 가공 공장에서 일해본 적이 있다면, 어떤 상황인지 잘 아실 것입니다. 원하는 온도에 도달하기 위해 열을 강하게 가하면, 오븐 안은 마치 거대한 가열 장치가 되어버립니다. 내벽들이 모든 열을 흡수하기 때문에, 곧바로 전체 장비가 매우 뜨거워집니다. 결과적으로 엄청난 에너지가 낭비되고, 장비는 마치 라디에이터처럼 작동합니다.
정말 엉망인 상황이죠.
우리는 이 문제를 해결하기 위해 일반적인 가열 방식 대신 방향성 적외선 기술을 사용하기로 결정했습니다.
실제 작동 원리
일반적인 대류식 난방은 공기를 뜨겁게 만드는 반면, 적외선은 마치 손전등과 같습니다. 즉, 전자기파를 직선으로 방출합니다. 주변의 공기는 별로 영향을 받지 않으며, 오직 그 파장을 흡수하는 물체만이 뜨거워집니다. 따라서 열을 웨이퍼나 부품에 직접 가하면, 주변 벽면은 차가운 상태를 유지됩니다. 이로 인해 작업자들이 기계 근처에 서 있어도 화상을 입을 위험이 없으며, 주변의 섬세한 전자 장비도 손상될 염려가 없습니다.
고려해야 할 단점들
클린룸에서 요구되는 정밀도를 얻기 위해서는 단파 석영 방출기를 사용해야 합니다. 이 방출기는 작은 공간 안에 많은 에너지를 담을 수 있습니다. 온도 상승도 매우 빠릅니다. 하지만 문제는, 이러한 램프들이 에너지를 좁은 범위에 집중시키기 때문에 설치 시 주의가 필요하다는 점입니다. 만약 반사판의 위치가 조금만 잘못되거나, 가열하는 물질이 에너지를 제대로 흡수하지 못한다면, 그 열이 다시 반사됩니다. 만약 그 열이 램프 자체로 다시 반사된다면, 램프가 예상보다 훨씬 빨리 고장날 수 있습니다. 반사판의 설정을 정확하게 하는 것은 선택 사항이 아니라, 매우 중요한 요소입니다.
실제 환경에서의 활용
가장 좋은 점은, 벽면이 빨갛게 달아오르지 않기 때문에, 오븐 외부에 두꺼운 절연층을 사용할 필요가 없다는 것입니다. 또한, 램프를 PID 컨트롤러에 연결하여 온도 변동을 잘 조절할 수 있습니다. 게다가, 기술자들도 훨씬 더 편리하게 작업할 수 있습니다. 그들은 마치 스토브 위에 서 있는 것처럼 느껴지지 않고, 안전하게 작업할 수 있습니다. 그리고 훨씬 더 효율적이기도 합니다.