고정밀 온도 히터

300mm 공정에서는 열 관리가 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 준수해야 할 원칙입니다. 소프트 베이크 과정에서 온도가 0.5도만이라도 벗어나면, 그 영향은 포토레지스트의 프로파일에 나타납니다. 하드 베이크 과정에서 설정된 온도에 도달하지 못하면, 현상 과정 후에...