ในกระบวนการลิโธกราฟี การเปลี่ยนแปลงขนาดเพียงครึ่งองศาในช่วงการอบแบบนุ่มหรือแบบแข็งนั้น ไม่ใช่ตัวเลขที่สามารถบันทึกไว้ในสเปรดชีตได้...

On the fab floor, an E-beam resist bake isn’t a warm-up. It’s a process anchor. Hit a 2°C drift on the hot plate, and your critical dimension bias...