ในกระบวนการลิโทกราฟี สารโพลีอิมิดที่ใช้เป็นสารต้านทานแสงนั้นไม่สามารถทนต่อการควบคุมอุณหภูมิในระดับเดียวกับที่สามารถทำได้ด้วยหลอดไฟธรรมดาได้...

ในกระบวนการลิโทกราฟี อย่ามองข้ามขั้นตอนการอบแบบ “soft bake” เป็นเพียงขั้นตอนเตรียมพร้อมเท่านั้น เพราะจริงๆ แล้วมันคือขั้นตอนที่ช่วยให้สารละลายต่างๆ...