Fotorezist pişirme lambası
Litografide, yumuşak pişirme veya sert pişirme işlemleri sırasında meydana gelen yarım derecelik sapmalar, tablolardaki sayılar olarak görünmez. Bu...
E ışını rezist ısıtıcı fırın
Role E-beam direnç pişirmesi fab katında bir ısınma işlemi değildir. Süreçte bir sabittir.
Sıcak plaka üzerinde 2°C sapma olursa, kritik boyut...