在晶圆加工过程中，人们需要迅速掌握相关技能：如果烘烤温度有半度的偏差，那么整个批次中晶圆的尺寸都会出现偏差。所谓的“软烘烤”和“硬烘烤”，其实并非单纯的加热步骤，而是确保尺寸精确性的关键步骤。如果加热器无法保持晶圆表面的均匀性，那么产品的合格率就会下降。 从技术层面来看，什么是重要的？ 我们在中国...

在光刻工序中，即使在光阻软化处理过程中温度仅有1°C的波动，也足以导致关键尺寸发生偏移，从而使产品报废。因此，必须确保温度控制始终处于规定范围内，且批次之间也要保持稳定。 从技术层面来看，什么才是最重要的？ 我们的加热器能够在整个加热表面上将晶圆的温度控制在±0.1°C的范围内，而设定点的重复精度...