停止给整个机器加热，而是直接对需要加热的部件进行加热吧。 大多数红外线灯会将热量均匀地散布到各个方向。它们以360度角辐射热量，这对于在狭小的半导体封装内工作的来说是个问题——热量会先照射到内部墙壁上，而不是直接作用于工件上。这样一来，就容易出现过热现象，从而损坏电子元件，甚至危及操作人员的安全。...

在光刻工艺中，光阻烘烤过程中的2°C温度偏差并非简单的波动，而会直接导致芯片出现缺陷。因此，晶圆干燥和烘烤工序必须遵循工艺要求的温度控制标准，而不能依赖一般的维护标准。我们设计的晶圆干燥灯管正是为了满足这一要求：成本较低，但精度却有保障。 从技术层面来看，重要的是： 该灯管内部装有短波卤素元件，置...

在晶圆厂，光刻胶烘烤温度漂移0.2°C并非小偏差。这意味着整批产品报废。晶圆级的热均匀性决定了线宽控制，且热预算必须精确——每一次运行都如此。 技术要点 我们的近红外（NIR）发射灯泡能够实现亚毫米级的热定位，并提供稳定且可重复的热场。我们调整光谱以匹配光刻胶和基底叠层的吸收，使能量集中作用于目标...