高精度温度加热器

在300毫米光刻线中，温度控制并非可选项——而是必须严格遵守的标准。如果软烘烤时的温度偏差达到半度，那么在光刻胶的厚度分布上就会体现出来。而如果硬烘烤时温度未能达到设定值，那么在显影之后就会出现瑕疵。我们设计这些加热器正是为了应对这样的实际情况，因为在制造过程中，哪怕只有几分钟的意外停机，都会影响...