聚酰亚胺烘烤红外灯

在光刻工艺中，聚酰亚胺光阻对温度控制的要求非常高，普通的照明设备是无法满足这一要求的。如果加热温度有半度左右的偏差，就会导致光阻厚度不均匀；而如果加热程度过大，则会在刻蚀后留下残留物。因此，需要的是能够精确控制温度的加热装置——具备快速升温能力、高度重复性，并且能够在无尘环境中工作，不会向生产线上...