避免干燥设备变成“烤箱” 如果你曾在工厂里工作过，那一定知道这种状况：在进行干燥处理时，设备的内壁会变得极其高温。这简直是一团糟。 问题其实很简单：普通的加热元件会将热量向四周散发。虽然晶圆会变热，但设备的其他部分也会跟着变热。这样一来，你支付的电费就白白浪费在了为空气和设备外壳加热上。更糟糕的是...

为什么我们要使用红外固化技术来处理无铅半导体 在制造MEMS传感器时，最不希望看到的就是基底被污染。因此，我们必须确保晶圆保持干燥且干净。这就是为什么我们选择使用红外固化技术——它无需任何复杂的化学添加剂或含铅催化剂，就能有效去除水分和溶剂。它依靠的是能量直接作用于物质，从而实现快速固化。 其原理...

在光刻工艺中，光阻烘烤过程中的2°C温度偏差并非简单的波动，而会直接导致芯片出现缺陷。因此，晶圆干燥和烘烤工序必须遵循工艺要求的温度控制标准，而不能依赖一般的维护标准。我们设计的晶圆干燥灯管正是为了满足这一要求：成本较低，但精度却有保障。 从技术层面来看，重要的是： 该灯管内部装有短波卤素元件，置...

在晶圆厂车间，包装前的产线是利润容易被悄无声息侵蚀的环节。一点干燥残留的水分，就可能导致分层、键合线气孔以及产量损失，这些问题往往要到数周后实际投用中才显现。不能容忍热漂移、颗粒生成或非计划停机。绝不允许。 干燥步骤中实际关键点 我们围绕严格的热控和洁净执行设计了干燥工艺。无卤素NIR发射器提供快...