为什么我们要使用红外固化技术来处理无铅半导体
在制造MEMS传感器时，最不希望看到的就是基底被污染。因此，我们必须确保晶圆保持干燥且干净。这就是为什么我们选择使用红外固化技术——它无需任何复杂的化学添加剂或含铅催化剂，就能有效去除水分和溶剂。它依靠的是能量直接作用于物质，从而实现快速固化。
其原理究竟如何？
普通的对流式烤箱是通过加热空气来让物体变热，这个过程比较缓慢。而红外固化则不同：红外线可以直接作用于晶圆表面的水分子或溶剂，从而促使它们迅速蒸发。这样一来，固化过程几乎可以瞬间完成。这一点非常重要，因为它可以避免“表面过快干燥而导致下方溶剂无法蒸发”的问题。
符合“绿色”标准
随着行业越来越重视无铅化及环保要求，传统的热固化技术因为需要使用重金属催化剂才能将温度降至合适水平，已经不再适用。而红外固化技术则无需此类催化剂，只需利用光能即可实现蒸发和化学交联反应。这样一来，就不会有有害气体或有毒添加剂产生，非常适合在洁净室环境中使用。
需要注意的权衡因素
虽然高强度的红外加热器效率很高，但其能量密度也相当大，这有助于加快处理速度。不过，必须注意控制温度梯度。如果晶圆较薄，而红外辐射的强度分布不均的话，就可能会导致硅片变形。我们发现，使用脉冲电源是个不错的解决方法，它能将基底的温度控制在5℃左右的范围内。另外，还要注意冷却系统的作用——如果不做好隔热处理，洁净室内的温度就会上升，进而触发警报。所以，务必确保冷却系统能够跟上设备产生的热量。