专业晶圆制造设备备件

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤曲线不是建议，而是硬性规定。软烘或硬烘过程中温度波动2°C会导致关键尺寸偏差，加热时若有颗粒脱落，晶圆可能报废。热漂移？你为此支付的代价是报废和停机时间。 以下是技术重点。 我们采用基于半导体热预算设计的卤素短波和中波加热器。烘烤表面，晶圆级温度均匀性维持在±0.1°C，设...