标签为“内阁”的页面如下 法布化学柜加热器 在芯片制造厂里,你知道,温度的微小变化都可能影响到生产效果。如果温度偏差达到0.5摄氏度,那么晶圆的线宽就会发生变化,而这种变化会导致无法接受的生产缺陷。而低温环境则会影响化学物质的粘度,进而导致重复性错误,影响后续批次的产品质量。 红外精确控温:亚毫米级温度均匀性及可重复性 我们设计的加热器采用... Read more...
法布化学柜加热器 在芯片制造厂里,你知道,温度的微小变化都可能影响到生产效果。如果温度偏差达到0.5摄氏度,那么晶圆的线宽就会发生变化,而这种变化会导致无法接受的生产缺陷。而低温环境则会影响化学物质的粘度,进而导致重复性错误,影响后续批次的产品质量。 红外精确控温:亚毫米级温度均匀性及可重复性 我们设计的加热器采用... Read more...