晶圆加热的安全距离

在现代工厂中，如何实现合适的温度控制呢？如果你正在建造一家智能工厂，那么你就会知道，自动化只是解决问题的一半而已。真正棘手的问题还是热量控制问题。你需要一种能够响应数字控制器的指令、且不会与之产生冲突的加热方式。 这就是为什么我们大多数人选择使用短波红外线作为加热源。因为这种方式更高效——能量可以...