无臭氧红外灯

从源头上防止晶圆受污染 在大规模半导体生产线上，如果灯管发生破裂，那可不仅仅是个小问题——那简直就是一场灾难。当普通的石英管损坏时，它不仅会停止工作，还会让硅晶圆上沾满各种颗粒物和化学物质。一旦发生这种情况，整批晶圆都会报废。因此，我们重新设计了无臭氧的红外灯结构。 臭氧带来的问题 大多数短波红外...