在光刻过程中，即使在软烘或硬烘阶段，温度出现半度的偏差，那也不仅仅是表格上的数字而已。这种偏差会表现为线宽的不稳定、涂层附着力下降，以及蚀刻后的成品率降低。我们设计的光刻胶烘干灯能够消除这些温度波动，从而确保每一块晶圆的加工质量都符合标准。 背后的关键点 我们使用具有精确光谱控制功能的近红外光源来...

在生产车间，电子束光刻胶的烘焙并不是简单的预热。这是一个过程的基石。 如果热板上出现2°C的漂移，你的关键尺寸偏差就会变化。叠加开始滑动。然后你就得在光刻单元中追赶产量，而日程也因此延迟。 实际重要的内容 我们围绕短波红外（NIR）发射器和石英增强热架构构建了电子束光刻胶烘焙加热器。其带来的好处是...