高能效晶圆加热器

别再给墙壁加热了——应该把热量集中在晶圆上 大多数加热元件都会让周围环境变得很热，这在半导体生产环境中是个大问题。这样一来，设备内部的零件就会被过度加热，这不仅会损坏设备，还会对操作人员构成安全隐患。 我们找到了更好的方法：使用定向红外加热灯。 其工作原理 传统电阻式加热器只是用来加热空气的，而红...