在您的生产线中采用红外固化技术 当您升级洁净室设备时，通常需要同时解决两个问题：既要符合无铅环保标准，又要确保生产效率不受影响。 大多数人会从对流式烤箱开始入手。但老实说，让大量空气升温的过程十分缓慢，这既浪费电能，也浪费时间。因此，我们更倾向于使用红外固化技术。这种技术不需要加热整个房间，而是直...

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤曲线不是建议，而是硬性规定。软烘或硬烘过程中温度波动2°C会导致关键尺寸偏差，加热时若有颗粒脱落，晶圆可能报废。热漂移？你为此支付的代价是报废和停机时间。 以下是技术重点。 我们采用基于半导体热预算设计的卤素短波和中波加热器。烘烤表面，晶圆级温度均匀性维持在±0.1°C，设...