别再给墙壁加热了——应该把热量集中在晶圆上
大多数加热元件都会让周围环境变得很热，这在半导体生产环境中是个大问题。这样一来，设备内部的零件就会被过度加热，这不仅会损坏设备，还会对操作人员构成安全隐患。
我们找到了更好的方法：使用定向红外加热灯。
其工作原理
传统电阻式加热器只是用来加热空气的，而红外灯则不同——它们能以直线形式发射电磁辐射。我们通过调整波长并使用合适的反射器，让能量直接作用于晶圆表面。这样，热量就不会扩散到腔室壁上。
优点
这样一来，设备的外壳就能保持凉爽，而晶圆则能更快达到所需温度。
实现方式
我们设计的这些加热灯能够承受极高的热量。我们使用石英外壳和卤素灯丝，因为它们可以瞬间开启或关闭，从而实现精确的温度控制。只需将它们接入现有的PID控制系统，就能确保温度始终处于理想范围内。
注意事项
不过，这类加热灯有个缺点：由于它们在如此小的空间内释放出大量能量，因此对环境要求很高。如果反射器被污染或位置出现偏差，就会导致晶圆出现局部过热现象。因此，必须保持光学路径的清洁，否则就会毁掉整批产品。
对设备和人员都有好处
避免墙壁过热的好处不仅仅是保护硬件，还有助于保护操作人员的安全。当设备外壳保持凉爽时，就不必担心在维护过程中造成烫伤。此外，还可以避免浪费电能来加热空气和设备框架。这样一来，能量就可以准确地传递到晶圆上。