充分利用晶圆固化技术 在固化晶圆时，目标很明确：尽可能将更多热量传递给基板。当然，我们不希望浪费任何能量来加热机器的壳体。因此，我们使用镀金反射器——它们能够捕捉那些原本会散失在空中的红外辐射，并将其重新导向正确位置。 为什么选择黄金？ 你可能会认为经过抛光处理的铝材也能起到同样的作用。不过，铝材...

在现代工厂中，如何实现合适的温度控制呢？如果你正在建造一家智能工厂，那么你就会知道，自动化只是解决问题的一半而已。真正棘手的问题还是热量控制问题。你需要一种能够响应数字控制器的指令、且不会与之产生冲突的加热方式。 这就是为什么我们大多数人选择使用短波红外线作为加热源。因为这种方式更高效——能量可以...

为什么我们要使用红外固化技术来处理无铅半导体 在制造MEMS传感器时，最不希望看到的就是基底被污染。因此，我们必须确保晶圆保持干燥且干净。这就是为什么我们选择使用红外固化技术——它无需任何复杂的化学添加剂或含铅催化剂，就能有效去除水分和溶剂。它依靠的是能量直接作用于物质，从而实现快速固化。 其原理...

为何红外加热比热风加热更适合晶圆处理 如果您考虑在深度加工过程中从热风循环加热方式转向红外加热方式，那么请不要将其视为单纯“换用更先进的设备”。而应将其视为一种节省时间的方法。 热风加热的速度很慢。它依靠对流原理来加温，也就是说，先加热空气，再让空气去加热晶圆。这种方式存在一定的延迟。而红外加热则...

别再给墙壁加热了——应该把热量集中在晶圆上 大多数加热元件都会让周围环境变得很热，这在半导体生产环境中是个大问题。这样一来，设备内部的零件就会被过度加热，这不仅会损坏设备，还会对操作人员构成安全隐患。 我们找到了更好的方法：使用定向红外加热灯。 其工作原理 传统电阻式加热器只是用来加热空气的，而红...

引言 在晶圆加工过程中，设备的高可用性至关重要。一旦生产线停止运转，整个生产过程就会陷入停滞状态。 正因如此，我们设计卤素加热灯的目的就是确保生产线能够持续运行。我们的备用灯泡可直接替代原有灯泡使用，其性能完全符合现代半导体设备的温度及尺寸要求。 技术细节 在晶圆处理室中，所需的温度必须足够高且稳...

在光刻工艺中，光阻烘烤过程中的2°C温度偏差并非简单的波动，而会直接导致芯片出现缺陷。因此，晶圆干燥和烘烤工序必须遵循工艺要求的温度控制标准，而不能依赖一般的维护标准。我们设计的晶圆干燥灯管正是为了满足这一要求：成本较低，但精度却有保障。 从技术层面来看，重要的是： 该灯管内部装有短波卤素元件，置...

在晶圆加工过程中，如果光刻胶在烘烤时的温度变化达到0.5°C，那么就会导致大量晶圆报废。而残留的水分则会导致各种缺陷的产生，比如晶圆表面出现瑕疵、图案变形等问题。这些缺陷往往在后期才会显现出来，但会给生产带来很大损失。我们设计的晶圆除湿装置可以消除这些变量，确保晶圆在加热过程中的温度稳定。 从技术...