中国制造的加热器工厂

在光刻工序中，即使在光阻软化处理过程中温度仅有1°C的波动，也足以导致关键尺寸发生偏移，从而使产品报废。因此，必须确保温度控制始终处于规定范围内，且批次之间也要保持稳定。 从技术层面来看，什么才是最重要的？ 我们的加热器能够在整个加热表面上将晶圆的温度控制在±0.1°C的范围内，而设定点的重复精度...