充分利用晶圆固化技术
在固化晶圆时，目标很明确：尽可能将更多热量传递给基板。当然，我们不希望浪费任何能量来加热机器的壳体。因此，我们使用镀金反射器——它们能够捕捉那些原本会散失在空中的红外辐射，并将其重新导向正确位置。
为什么选择黄金？ 你可能会认为经过抛光处理的铝材也能起到同样的作用。不过，铝材在处理长波红外辐射方面表现不佳。而黄金则不同，它在整个红外波段都具有极高的反射率。 这样一来，更多的光子会被反射回晶圆上。这样一来，能量就能更精确地集中在晶圆上，从而无需提高功率即可达到所需的固化温度。这对节省能源和降低硬件成本非常有帮助。
形状也很重要 可以把反射器看作是一种用于引导热量的工具，而不仅仅是镜子。我们需要调整其形状，以便让热量准确地照射到晶圆的特定区域。 这样就能避免出现“冷点”，确保热量均匀分布。如果反射器的曲线有哪怕一点点偏差——也就是几毫米的误差——就会产生温度梯度，而这就是导致固化过程失败的原因。
注意事项 虽然黄金的性能优异，但它质地柔软。请不要用磨砂垫或刺激性化学物质来擦拭它，否则涂层会被破坏，从而导致效率下降。请使用指定的溶剂进行清洁，操作时要轻柔一些。 另外，由于这些反射器能够有效地将热量传递到晶圆上，因此也会给灯的固定装置带来更大的压力。请确保冷却风扇能够正常工作。如果不能，灯的寿命就会大大缩短。只要确保良好的空气流动，就能减少处理时间，进而降低成本。