工厂干燥设备的能源审计
避免干燥设备变成“烤箱” 如果你曾在工厂里工作过,那一定知道这种状况:在进行干燥处理时,设备的内壁会变得极其高温。这简直是一团糟。 问题其实很简单:普通的加热元件会将热量向四周散发。虽然晶圆会变热,但设备的其他部分也会跟着变热。这样一来,你支付的电费就白白浪费在了为空气和设备外壳加热上。更糟糕的是...
节能型半导体加热器
在半导体制造厂中减少碳排放:为何短波红外线才是更有效的加热方式
坦白说,要在半导体制造厂实现碳中和目标其实相当困难。其中一个主要问题就是如何有效处理热量。长期以来,我们一直依赖电阻式加热方式,但这种方式效率很低——它浪费了大量能量来加热晶圆周围的空气。
因此,我们开始采用短波红外线灯组。这类灯具不...
高能效晶圆加热器
别再给墙壁加热了——应该把热量集中在晶圆上 大多数加热元件都会让周围环境变得很热,这在半导体生产环境中是个大问题。这样一来,设备内部的零件就会被过度加热,这不仅会损坏设备,还会对操作人员构成安全隐患。
我们找到了更好的方法:使用定向红外加热灯。
其工作原理
传统电阻式加热器只是用来加热空气的,而红...