为何红外加热比热风加热更适合晶圆处理 如果您考虑在深度加工过程中从热风循环加热方式转向红外加热方式，那么请不要将其视为单纯“换用更先进的设备”。而应将其视为一种节省时间的方法。 热风加热的速度很慢。它依靠对流原理来加温，也就是说，先加热空气，再让空气去加热晶圆。这种方式存在一定的延迟。而红外加热则...

在300毫米光刻线中，温度控制并非可选项——而是必须严格遵守的标准。如果软烘烤时的温度偏差达到半度，那么在光刻胶的厚度分布上就会体现出来。而如果硬烘烤时温度未能达到设定值，那么在显影之后就会出现瑕疵。我们设计这些加热器正是为了应对这样的实际情况，因为在制造过程中，哪怕只有几分钟的意外停机，都会影响...