解决RTP系统加热器故障

在加工过程中，一旦RTP加热器的工作参数出现偏差，整个晶圆的处理过程就会受到影响。即使只是轻微的偏差，也会导致光刻胶的厚度分布不均。而如果加热温度过高或过低，则会使CD均匀性控制变得困难。这样一来，就会产生废品，需要重新加工，同时还会造成无法挽回的能量损失。 真正重要的因素是什么？ 我们设计的...