节能型半导体加热器

在半导体制造厂中减少碳排放：为何短波红外线才是更有效的加热方式 坦白说，要在半导体制造厂实现碳中和目标其实相当困难。其中一个主要问题就是如何有效处理热量。长期以来，我们一直依赖电阻式加热方式，但这种方式效率很低——它浪费了大量能量来加热晶圆周围的空气。 因此，我们开始采用短波红外线灯组。这类灯具不...