光刻胶烘烤灯

在光刻过程中，即使在软烘或硬烘阶段，温度出现半度的偏差，那也不仅仅是表格上的数字而已。这种偏差会表现为线宽的不稳定、涂层附着力下降，以及蚀刻后的成品率降低。我们设计的光刻胶烘干灯能够消除这些温度波动，从而确保每一块晶圆的加工质量都符合标准。 背后的关键点 我们使用具有精确光谱控制功能的近红外光源来...