便宜的晶圆干燥灯管

在光刻工艺中，光阻烘烤过程中的2°C温度偏差并非简单的波动，而会直接导致芯片出现缺陷。因此，晶圆干燥和烘烤工序必须遵循工艺要求的温度控制标准，而不能依赖一般的维护标准。我们设计的晶圆干燥灯管正是为了满足这一要求：成本较低，但精度却有保障。 从技术层面来看，重要的是： 该灯管内部装有短波卤素元件，置...