Arrêter la contamination des wafers avant qu’elle ne commence
Dans une usine de semi-conducteurs à grande échelle, la rupture d’une lampe est bien plus qu’un simple problème : c’est un véritable cauchemar. Lorsqu’une lampe en verre de quartz standard tombe en panne, elle ne cesse pas simplement de fonctionner. Elle projette des particules et des substances chimiques sur les wafers en silicium. Un seul accident suffit pour que toute la commande soit rejetée. C’est pourquoi nous réexaminons la manière dont nos lampes infrarouges sans ozone sont conçues.
Le problème de l’ozon
La plupart des lampes infrarouges à ondes courtes émettent des rayonnements autour de 185 nm. Le problème, c’est que ces rayonnements interagissent avec l’oxygène présent dans l’air, ce qui entraîne la formation d’ozon. L’ozon est très nocif : il est corrosif et peut endommager progressivement les composants internes de la machine. Il peut également perturber les réactions chimiques à la surface des wafers. Nous avons résolu ce problème en utilisant un type spécifique de verre de quartz qui filtre ces longueurs d’onde UV. Ainsi, l’ozon ne peut pas se former. C’est aussi simple que ça.
Gérer la chaleur
Les cycles de travail à forte charge sont extrêmement difficiles. Les fluctuations de température sont importantes, et c’est généralement à ce moment-là que le verre se brise. Pour éviter cela, nous utilisons du verre de quartz synthétique de haute pureté. Ce dernier ne se dilate ni ne se contracte autant que le verre bon marché. De plus, nous avons renforcé les joints entre le filament et les capots, afin que aucun gaz ne s’échappe. Si le cycle halogène échoue, la lampe se brûle simplement, sans exploser.
Les compromis
Rien n’est gratuit. Comme ces filtres bloquent certaines longueurs d’onde, la sortie spectrale change légèrement. Vous pourriez remarquer que le taux de chauffage est légèrement différent. Il vous faudra probablement ajuster le temps d’exposition ou augmenter la densité de puissance pour obtenir les mêmes résultats que avec une lampe standard.
Comment les faire fonctionner
Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles puissent être remplacées facilement. Elles sont faciles à changer. Assurez-vous simplement que vos alimentations électriques correspondent à la puissance de la nouvelle lampe. En aucun cas, ne suralimentez la lampe pour compenser les pertes de chaleur. Cela pourrait entraîner la destruction du filament ou la rupture de la lampe. Un conseil utile : gardez vos ventilateurs de refroidissement propres. Les points chauds sur le verre de quartz représentent un vrai danger.