वेफरों के संदूषण को शुरू होने से पहले ही रोकना
उच्च मात्रा में अर्धचालक उत्पादन होने वाली प्रक्रियाओं में, लैंप ट्यूबों के फटने से न केवल काम में बाधा आती है, बल्कि यह एक बड़ी समस्या भी है।
जब कोई सामान्य क्वार्ट्ज ट्यूब खराब हो जाती है, तो वह काम करना बंद कर देती है; साथ ही वह सिलिकॉन वेफरों पर कणों एवं रासायनिक पदार्थों को छोड़ देती है। ऐसी स्थिति में पूरा उत्पादन बर्बाद हो जाता है। इसीलिए हम अपने ओजोन-रहित आईआर लैंपों की संरचना पर पुनर्विचार कर रहे हैं।
ओजोन की समस्या
अधिकांश शॉर्टवेव आईआर लैंप, 185 नैनोमीटर तरंगदैर्घ्य पर विकिरण उत्पन्न करते हैं। समस्या यह है कि यह विकिरण हवा में मौजूद ऑक्सीजन से मिलकर ओजोन बनाता है।
ओजोन बहुत ही हानिकारक है – यह धीरे-धीरे मशीनों के अंदरूनी हिस्सों को नष्ट कर देता है, एवं वेफरों की सतह पर भी विपरीत प्रभाव डालता है। हमने इस समस्या को हल करने हेतु ऐसे क्वार्ट्ज ग्लास का उपयोग किया, जो ऐसी विकिरण तरंगों को फिल्टर कर देता है… इससे ओजोन बनना ही बंद हो जाता है।
गर्मी से निपटना
उच्च भार वाली परिस्थितियों में तापमान में बहुत अधिक उतार-चढ़ाव होता है… ऐसी स्थितियों में ही काँच टूट जाता है।
इससे बचने हेतु हम उच्च शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… ऐसा क्वार्ट्ज सस्ते क्वार्ट्ज की तुलना में बहुत कम ही फैलता/सिकुड़ता है। हमने फिलामेंट एवं अंतिम कवरों के बीच के सीलों को भी मजबूत बनाया, ताकि गैस बाहर न निकल सके। यदि हैलोजन सर्किट विफल हो जाता है, तो लैंप बस जल जाता है… वह फटता नहीं है।
त्याग/समझौते
देखिए, कुछ भी मुफ्त में नहीं मिलता…
चूँकि ये फिल्टर कुछ विशेष तरंगदैर्घ्यों को रोक देते हैं, इसलिए स्पेक्ट्रल आउटपुट में थोड़ा बदलाव हो जाता है… आपको अपने उत्पादन समय या ऊर्जा घनत्व में बदलाव करना होगा, ताकि आपको वही परिणाम मिल सकें जो आपको सामान्य लैंपों से मिलते हैं।
इन लैंपों को ठीक से काम करने हेतु
हमने इन लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि इन्हें आसानी से बदला जा सके…
बस यह सुनिश्चित करें कि आपका पावर सप्लाई, नए लैंप की आवश्यक वोल्टेज के अनुरूप हो… किसी भी हाल में, गर्मी की कमी को पूरा करने हेतु लैंप पर अतिरिक्त वोल्टेज न लगाएं… ऐसा करने से फिलामेंट या लैंप खराब हो सकता है।
एक और सलाह: अपने कूलिंग फैनों को हमेशा साफ रखें… क्वार्ट्ज पर गर्म बिंदु बहुत ही हानिकारक होते हैं।