Het voorkomen van vervuiling van de siliciumwafels
In productielijnen voor semiconductoren is het exploderen van een lamp een groot probleem. Het is een nachtmerrie. Wanneer een standaard kwartslamp kapotgaat, stopt deze niet alleen met werken; er komen ook deeltjes en chemische stoffen op de siliciumwafels terecht. In dat geval is de hele partij afval. Daarom heroverwegen we hoe onze ozonvrije IR-lampen worden gebouwd.
Het probleem met ozon
De meeste kortegolflange IR-lampen stralen licht uit op een golflengte van ongeveer 185 nm. Het probleem is dat dit licht in contact komt met het zuurstof in de lucht, waardoor ozon wordt gevormd. Ozon is schadelijk: het is corrosief en kan langzaam de onderdelen van de machine beschadigen. Bovendien kan het de chemische samenstelling van het oppervlak van de siliciumwafels verstoren. We hebben dit opgelost door gebruik te maken van een speciaal soort kwartsglas dat deze VUV-golflengten filtert. Hierdoor wordt ozon voorkomen. Eenvoudig, toch?
Omgaan met hitte
Tijdens hoge belastingen zijn de temperatuurschommelingen enorm. Dit is juist het moment waarop glas kan barsten. Om dit te voorkomen, gebruiken we synthetisch kwarts van hoge zuiverheid. Dit type glas rekent of krimpt nauwelijks vergeleken met goedkoper glas. We hebben ook de verbindingen tussen het filament en de uiteinden van de lamp versterkt, zodat er geen gas meer kan ontsnappen. Als de halogeenlamp faalt, brandt deze gewoon uit. Hij explodeert niet.
De trade-offs
Niets is gratis. Omdat de filters bepaalde golflengten blokkeren, verandert de spectrale uitstoot iets. Je merkt misschien dat de verhittingssnelheid anders is. Mogelijk moet je de tijd dat de lamp brandt aanpassen of de vermogensdichtheid verhogen om dezelfde resultaten te behalen als met een standaardlamp.
Hoe ze moeten worden gebruikt
We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Ze zijn eenvoudig te vervangen. Zorg er wel voor dat de stroomvoorziening overeenkomt met de vermogenssterkte van de nieuwe lamp. Probeer de lamp onder geen beding te overbelasten om warmteverliezen te compenseren. Dat leidt tot beschadigde lampen. En nog een tip: houd de koelingsventilatoren schoon. Heethoeken op het kwartsglas zijn een groot probleem.