Op de lithografieafdeling betekent een afwijking van een halve graad tijdens het zachte of harde bakproces geen cijfertje in een spreadsheet. Het resultaat is juist een variatie in de dikte van de laag die wordt gevormd, een zwakke hechting tussen de verschillende lagen, en een afname van de productiekwaliteit na het eten. We hebben onze lampen zo ontworpen dat deze variabiliteit wordt weggenomen uit het thermische proces, zodat het proces steeds binnen de vereiste parameters blijft – wiel na wiel.
Wat belangrijk is achter de schermen We gebruiken NIR-emitters met nauwkeurige spectrale controle, waardoor de fotoresist rechtstreeks wordt verhit. Dit verminderd het vertragingstijdperk en zorgt voor een snellere en nauwkeurigere thermische reactie. Overal in de bakzone blijft de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C, en de herhaalbaarheid blijft binnen dezelfde tolerantie, zelfs na duizenden cycli. De apparaten zijn geschikt voor schoonruimten van klasse 1–100. We controleren of er geendeeltjes worden gegenereerd aan de interfaces. De apparaten zijn ontworpen om 24/7 te werken; de apparaten die in gebruik zijn, kunnen meer dan 5.000 uur draaien zonder dat de prestaties afnemen.
Waarom dit belangrijk is bij het verwerken van fotoresist Bij het zachte bakproces gaat het erom de viscositeit van de fotoresist te stabiliseren en eventuele oplosmiddelen te verwijderen. Bij het harde bakproces wordt de laag vastgezet voordat het eten van start gaat. Met deze lampen krijg je consistente bakprofielen voor het hele productieproces, waardoor defecten en herwerkzaamheden verminderen. Dit leidt tot een betere controle over de dichtheid van de laag, een betere integriteit van de laag en een voorspelbaarder gedrag tijdens het etenproces. De thermische stabilisatie vindt snel plaats, met minimale afwijkingen, waardoor energieverbruik wordt bespaard. Een lange levensduur van de lampen betekent ook minder reserveonderdelen en minder onderhoud nodig.
De praktische details Deze lampen passen in standaard coating/bakapparatuur. Echter, tijdens de installatie moet de alignement met het pad van de wafel en de geometrie van de bakkamer worden gecontroleerd. Er zal een korte testperiode nodig zijn om de juiste instellingen voor de bewaartermijn, intensiteit en temperatuur vast te stellen. Houd u binnen het gespecificeerde voltagebereik – anders kan de uniformiteit en de levensduur van de lampen snel afnemen.