На этапе литографии полиимидный фоторезист не выдерживает тех условий термоконтроля, которые возможны при использовании обычных ламп. Недостаточно интенсивная подготовка поверхности приводит к увеличению толщины фоторезиста, а чрезмерно интенсивная подготовка оставляет после процесса эчинга нежелательные отложения. Необходимо использовать такой источник тепла, который позволяет контролировать процесс нагрева – быстрый рост температуры, высокая степень воспроизводимости, а также оборудование, которое может работать в чистой комнате без образования частиц.
Вот что действительно важно:
Наши инфракрасные лампы для обработки полиимидного фоторезиста используют коротковолновые излучатели, настроенные на поглощение света полиимидом. Это позволяет достичь быстрого нагрева без контакта с поверхностью, при этом тепловая инерция минимальна. Равномерность температуры на всей поверхности пластинки составляет ±0,1°C, а воспроизводимость между разными сериями продукции – ±0,2°C. Эти лампы могут работать в чистых комнатах класса 1–100 без образования частиц; это подтверждается прямыми измерениями. Рабочая мощность ламп остается стабильной в течение более 5 000 часов, с отклонением менее 5%. Система предназначена для круглосуточной работы с контролируемым охлаждением, что помогает сохранять стабильные температурные условия.
Как это выглядит на практике?
Благодаря этому улучшается контроль за размерами элементов схемы, и сокращается количество партий продукции, требующих переработки. Процесс подготовки фоторезиста занимает всего несколько секунд, а процесс удаления растворителей происходит предсказуемо. Интенсивный нагрев позволяет достичь правильной концентрации связей в молекулах фоторезиста, без чрезмерного нагрева, что снижает риск разрушения структуры фоторезиста. Также снижается потребление энергии, поскольку энергия направляется непосредственно на фоторезист, а не на нагрев камеры. В результате получается стабильный профиль эчинга, снижается количество бракованных изделий, а график производства может соблюдаться более точно.
Несколько практических рекомендаций перед заказом оборудования:
При установке необходимо учитывать размеры лампы и её оптические характеристики в соответствии с требованиями вашего оборудования для нанесения/обработки фоторезиста. Настройка оборудования занимает немного времени, но необходимо учитывать особенности фоторезиста при выборе параметров нагрева. Поскольку интенсивность излучения инфракрасных ламп меняется с расстоянием, необходимо соблюдать определенные требования к расстоянии между лампой и поверхностью пластинки. Также необходимо регулярно калибровать лампы и соблюдать условия работы в чистой комнате, чтобы избежать образования частиц.