ในกระบวนการลิโทกราฟี อย่ามองข้ามขั้นตอนการอบแบบ “soft bake” เป็นเพียงขั้นตอนเตรียมพร้อมเท่านั้น เพราะจริงๆ แล้วมันคือขั้นตอนที่ช่วยให้สารละลายต่างๆ ถูกกักเก็บไว้อย่างมั่นคง และช่วยให้สารเคลือบฟิล์มถ่ายภาพติดอยู่กับวัสดุได้อย่างดี หากอุณหภูมิมีความแตกต่างกันเพียง 1 องศาเซลเซียส หรือมีจุดที่อุณหภูมิต่ำกว่าปกติ ก็จะส่งผลให้การควบคุมขนาดของวัสดุไม่แม่นยำ ความขรุขระของเส้นขอบก็จะเพิ่มขึ้น และจะมีข้อบกพร่องเกิดขึ้นตามมา
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้หลอดไฟ NIR สำหรับขั้นตอนการอบแบบ “soft bake” เพราะมันช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอในระดับต่ำกว่าหนึ่งมิลลิเมตร โครงสร้างของหลอดไฟและตัวสะท้อนถูกออกแบบมาให้อุณหภูมิสอดคล้องกับวัสดุมากกว่าจะสอดคล้องกับเครื่องอุ่น ดังนั้นจึงสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1 องศาเซลเซียสได้ และความสม่ำเสมอนี้จะยังคงอยู่ในทุกชุดผลิต เนื่องจากกำลังไฟของหลอดไฟมีความเสถียร และโปรファイルการอบก็สามารถควบคุมได้
ความเข้ากันได้กับห้องปลอดฝุ่น ความเข้ากันได้กับห้องปลอดฝุ่นก็เป็นสิ่งสำคัญเช่นกัน ในสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 จะไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นจากหลอดไฟเลย และอุปกรณ์ก็ถูกออกแบบมาให้ไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นระหว่างการใช้งาน
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผล ในโรงงานที่มีกำลังการผลิตสูง ความสม่ำเสมอในขั้นตอนการอบแบบ “soft bake” จะช่วยเพิ่มอัตราการผลิตได้ ด้วยหลอดไฟ NIR วัสดุจะถูกอุ่นจนถึงอุณหภูมิที่ต้องการได้อย่างรวดเร็ว ทำให้เวลาในการอบลดลง โดยไม่ส่งผลกระทบต่ออุณหภูมิโดยรอบ การควบคุมความหนาของสารเคลือบฟิล์มถ่ายภาพและพฤติกรรมของขอบวัสดุก็จะสามารถคาดเดาได้มากขึ้น ซึ่งจะช่วยลดขยะที่เกิดขึ้นระหว่างการผลิต
การใช้พลังงาน การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะหลอดไฟจะอุ่นวัสดุโดยตรง ไม่ใช่อากาศรอบๆ วัสดุ ความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์ก็เพิ่มขึ้น เนื่องจากอุปกรณ์สามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของกำลังการผลิตน้อยกว่า 5% ดังนั้นเวลาที่อุปกรณ์หยุดทำงานก็จะน้อยลง
สิ่งที่ควรรู้ หลอดไฟ NIR สำหรับขั้นตอนการอบแบบ “soft bake” มีข้อกำหนดเฉพาะเกี่ยวกับการติดตั้งและการปรับจูน ความสม่ำเสมอของกำลังไฟขึ้นอยู่กับระยะห่างระหว่างหลอดไฟกับวัสดุ และสภาพของตัวสะท้อน ดังนั้นการปรับปรุงอุปกรณ์จึงต้องสอดคล้องกับโครงสร้างของอุปกรณ์และระบบระบายความร้อนด้วย หลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้กับอินเทอร์เฟซมาตรฐาน แต่หากมีการเปลี่ยนขนาดของแผ่นอบหรือวัสดุ ก็จำเป็นต้องปรับโปรファイลการอบใหม่ และควรมีอะไหล่สำรองไว้ เพื่อให้อุปกรณ์สามารถทำงานต่อไปได้