웨이퍼 공정용 온도 센서

왜 웨이퍼 가공에는 적외선 가열이 열공기 가열보다 더 효과적인가요? 만약 깊은 공정 처리에서 열공기 순환 방식 대신 적외선 가열 방식을 사용하고 싶다면, 그것을 단순히 “더 좋은 장비”로 생각해서는 안 됩니다. 오히려 시간을 절약할 수 있는 방법으로 생각해야 합니다....