ในกระบวนการลิโธกราฟี แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงไปเพียง 1°C ระหว่างขั้นตอนการอบแผ่นวัสดุโฟโตรีซิสต์ ก็เพียงพอที่จะทำให้มิติสำคัญของชิ้นงานเปลี่ยนแปลงไป และทำให้ชิ้นงานนั้นต้องถูกทิ้งไป ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีระบบควบคุมอุณหภูมิที่มีความแม่นยำสูง และสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอในทุกการผลิต
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เครื่องทำความร้อนในโรงงานของเราสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับแผ่นวัสดุได้ภายในช่วง ±0.1°C โดยมีความแม่นยำในการตั้งค่าอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.5°C ควรเลือกชนิดของเครื่องทำความร้อนให้เหมาะสมกับความต้องการทางด้านอุณหภูมิ เช่น แบบฮาโลเจน แบบคลื่นกลาง หรือแบบคาร์บอนไฟเบอร์/NIR โดยมีแรงดันไฟฟ้าอยู่ในช่วง 100 ถึง 480 โวลต์ นอกจากนี้ยังต้องให้ขนาดของเครื่องทำความร้อนเหมาะสมกับพื้นที่ของเครื่องเคลือบวัสดุ และอุปกรณ์บรรจุชิ้นงานด้วย
การใช้วัสดุควอตซ์และเซรามิกที่มีความบริสุทธิ์สูงช่วยลดการปล่อยก๊าซและการเกิดอนุภาคต่างๆ ได้เป็นศูนย์ ซึ่งช่วยให้สภาพแวดล้อมในห้องผลิตมีความสะอาดในระดับ Class 1–100 ระบบควบคุมอุณหภูมิใช้รูปแบบ PID พร้อมตัวเลือกการเชื่อมต่อ RS-485/Ethernet นอกจากนี้ เครื่องทำความร้อนยังถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยมีอายุการใช้งานที่ยาวนาน โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่ได้วางแผนไว้
เหตุผลที่ระบบนี้ใช้งานได้ดีในทางปฏิบัติ
ในกระบวนการโฟโตรีซิสต์ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่สูงช่วยให้การอบวัสดุมีคุณภาพสม่ำเสมอ ทำให้มิติของชิ้นงานคงที่ และไม่มีการเปลี่ยนแปลง ส่วนในกระบวนการบรรจุชิ้นงาน การควบคุมอุณหภูมิที่มั่นคงช่วยลดปัญหาเรื่องรอยแตกร้าวและการบิดของชิ้นงาน ซึ่งช่วยลดเวลาในการตรวจสอบคุณภาพชิ้นงาน และลดการต้องแก้ไขชิ้นงานใหม่
การตอบสนองต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่รวดเร็ว และการสูญเสียพลังงานในขณะที่เครื่องไม่ทำงานที่น้อย ช่วยลดการใช้พลังงาน นอกจากนี้ โครงสร้างของเครื่องทำความร้อนที่มีความสะอาดยังช่วยให้มีจำนวนอนุภาคน้อยลง ซึ่งช่วยลดความจำเป็นในการบำรุงรักษาเครื่อง
ข้อควรระวังในการใช้งาน
การติดตั้งเครื่องทำความร้อนนั้นต้องคำนึงถึงน้ำหนักของแผ่นโลหะที่ใช้เป็นฐานรองเครื่องทำความร้อน และคุณสมบัติของวัสดุที่ใช้เป็นตัวกันความร้อน ควรมีเวลาสั้นๆ สำหรับการปรับแต่งค่า PID ให้เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมในห้องผลิต นอกจากนี้ เครื่องทำความร้อนยังสามารถทำงานร่วมกับระบบ SECS/GEM ได้ แต่การปรับแต่งโปรโตคอลการทำงานจะขึ้นอยู่กับเวอร์ชันของตัวควบคุมหลักด้วย
ควรรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในช่วงที่กำหนด และต้องรักษาทางลำเลียงอากาศให้สะอาด หากไม่ทำเช่นนั้น อุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงอย่างรวดเร็วจะส่งผลเสียต่อเครื่องทำความร้อน และทำให้อายุการใช้งานสั้นลง