Lorsqu’on travaille dans une salle propre de classe 100, le chauffage représente un véritable défi. Il ne s’agit pas seulement de réchauffer l’air, mais aussi de maintenir celui-ci totalement exempt de poussière. La plupart des chauffages standards sont inutilisables dans de telles conditions : ils libèrent de minuscules particules ou des produits chimiques qui peuvent endommager toute une série de produits pharmaceutiques ou détruire vos wafer en un instant.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes infrarouges en quartz synthétique de haute pureté. Elles ont été conçues spécialement pour ces étapes de rinçage et de séchage où même la moindre particule de poussière peut être fatale.
Maintien de la propreté Nous utilisons du silice fusionnée pour l’enveloppe de la lampe. Pourquoi ? Parce qu’elle ne contient aucune impureté métallique. Le verre standard risque de se fissurer ou de se détacher lorsque la température change rapidement, mais ce type de quartz résiste à cela.
De plus, nous évitons l’utilisation d’adhésifs et de joints poreux. Ce genre d’éléments attirent la poussière. Tout est hermétiquement scellé afin que rien ne pénètre dans le flux d’air. C’est tout simple.
Gestion de l’humidité Les cycles de rinçage génèrent beaucoup d’humidité et de vapeurs chimiques. Pour éviter que cela ne endommage votre équipement, nous utilisons des joints hermétiques sur les fils électriques. Cela empêche l’humidité d’atteindre le filament de la lampe. Sans ces joints, les lampes s’éteindraient bien trop rapidement. Avec eux, vous pouvez les installer directement dans les zones humides sans crainte de court-circuit.
Le compromis thermique Ces lampes utilisent une chaleur rayonnante directe. C’est rapide. Vraiment très rapide. Comme le substrat est chauffé directement, il n’y a pas besoin de perdre du temps à chauffer l’air. Le temps de montée en température diminue considérablement.
Mais il y a un inconvénient : les lampes à infrarouges à haute intensité génèrent beaucoup de chaleur aux extrémités. Il est donc nécessaire que le boîtier soit ventilé ou refroidi par eau. Sinon, le cadre de soutien pourrait se déformer.
Installation Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles puissent remplacer directement les lampes existantes dans votre salle propre. Elles occupent peu d’espace, et leur câblage est simple.
De plus, comme il n’est pas nécessaire d’utiliser de système de ventilation forcée, on élimine ainsi toutes ces turbulences gênantes. Le nombre de particules reste stable, et vos pièces sèchent exactement au bon moment.