Wanneer je te maken hebt met een zuiverruimte van klasse 100, is verwarming een behoorlijke uitdaging. Het gaat niet alleen om het opwarmen van de apparatuur – het gaat er ook om dat de lucht perfect schoon blijft. De meeste standaardverwarmers zijn hier totaal nutteloos: ze scheiden kleine deeltjes af of lekken chemicaliën die kunnen schade toebrengen aan de producten of je wafers onherstelbaar kunnen beschadigen.
Daarom gebruiken we infraroodlampen gemaakt van synthetisch kwarts van hoge zuiverheid. Deze lampen zijn speciaal ontworpen voor de moeilijke reinigings- en droogprocedures, waarbij zelfs één stofdeeltje fataal kan zijn.
Het behouden van de zuiverheid Voor de buitenlaag van de lampen gebruiken we geëvenseerd silica. Waarom? Omdat dit materiaal geen metallische onzuiverheden bevat. Standaard glas kan breken of barsten wanneer de temperatuur snel wordt veranderd, maar dit kwarts kan dat prima aan.
We hebben ook geen lijm of poröze afsluitingen meer gebruikt. Die zorgen er namelijk voor dat er stof in de lucht terechtkomt. Alles is goed afgesloten, zodat er niets in de luchtbestraling terechtkomt. Eenvoudig.
Omgaan met vocht Reinigingsprocessen zorgen voor veel vocht en chemische dampen. Om te voorkomen dat deze schade toebrengen aan de apparatuur, gebruiken we speciale hermetische afsluitingen op de kabels.
Dit voorkomt dat vocht in de lamp terechtkomt. Zonder deze afsluitingen zouden de lampen veel te snel uitvallen. Met deze afsluitingen kun je de lampen zelfs in vochtige gebieden plaatsen, zonder zorgen te maken over kortsluiting.
Het compromis als het gaat om hitte Deze lampen gebruiken directe stralingswarmte. Dat betekent dat ze zeer snel opwarmen. Omdat je het substraat rechtstreeks verwarmt, hoef je geen tijd te verspillen aan het opwarmen van de lucht. Hierdoor neemt de tijd die nodig is om de lampen op te warmen drastisch af.
Er is echter wel een nadeel: hoge intensiteit infraroodstraling zorgt voor veel hitte aan de uiteinden van de lampen. Je moet ervoor zorgen dat de behuizing goed geventileerd of gekoeld wordt. Als de bevestigingsconstructies niet bestand zijn tegen zulke hoge temperaturen, kan de constructie beschadigen.
Installatie We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen door de huidige lampen in je zuiverruimte. Ze hebben weinig ruimte in beslag en de bedrading is eenvoudig.
Bovendien hoef je geen geforceerde luchtcirculatie te gebruiken. Hierdoor verdwijnt al die storende turbulentie. De concentratie stofdeeltjes blijft stabiel en je onderdelen drogen op het juiste moment.