ในกระบวนการลิโธกราฟี การเปลี่ยนแปลงขนาดเพียงครึ่งองศาในช่วงการอบแบบนุ่มหรือแบบแข็งนั้น ไม่ใช่ตัวเลขที่สามารถบันทึกไว้ในสเปรดชีตได้ แต่จะส่งผลให้เกิดความแปรปรวนของความหนาของฟิล์ม การยึดเกาะที่อ่อนแอ และอัตราการผลิตที่ลดลงหลังจากการ etch เราจึงออกแบบเครื่องอบฟอโตเรซิสต์ให้สามารถลดความแปรปรวนเหล่านี้ได้ ทำให้กระบวนการผลิตยังคงอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดตลอดไป
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราใช้หลอดฉายแสงในช่วงความยาวคลื่น NIR ซึ่งสามารถควบคุมสเปกตรัมได้อย่างแม่นยำ ทำให้สามารถให้ความร้อนกับฟอโตเรซิสต์ได้โดยตรง วิธีนี้ช่วยลดความล่าช้าในการให้ความร้อน และทำให้เกิดการตอบสนองทางความร้อนที่รวดเร็วและแม่นยำยิ่งขึ้น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในบริเวณการอบอยู่ที่ ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำได้ยังคงอยู่ในเกณฑ์เดิมตลอดหลายพันครั้งของการใช้งาน เครื่องนี้เหมาะสำหรับใช้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 และเรายังตรวจสอบให้แน่ใจว่าไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นที่จุดสัมผัสระหว่างเครื่องกับวัสดุอีกด้วย เครื่องนี้ถูกออกแบบมาให้สามารถใช้งานได้ตลอด 24/7 โดยเครื่องที่ใช้งานจริงสามารถทำงานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมงโดยที่ประสิทธิภาพยังคงอยู่ในเกณฑ์ที่ดี
เหตุใดสิ่งนี้จึงสำคัญในกระบวนการผลิตฟอโตเรซิสต์ การอบแบบนุ่มมีไว้เพื่อทำให้ความหนืดของฟอโตเรซิสต์คงที่และขจัดสารละลายออกไป ส่วนการอบแบบแข็งนั้นมีไว้เพื่อทำให้ฟิล์มมีความแข็งแรงก่อนการ etch ด้วยหลอดฉายแสงนี้ คุณจะได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอในทุกชุดวัสดุที่ใช้ ทำให้ลดข้อบกพร่องและความจำเป็นในการทำงานซ้ำลง ผลลัพธ์ที่ได้คือการควบคุมความหนาของฟิล์มได้อย่างแม่นยำ ความแข็งแรงของฟิล์มดีขึ้น และพฤติกรรมของฟิล์มสามารถคาดเดาได้ตลอดกระบวนการ etch นอกจากนี้ การปรับอุณหภูมิยังเกิดขึ้นอย่างรวดเร็ว ทำให้สามารถลดการใช้พลังงานได้ อายุการใช้งานของหลอดฉายแสงที่ยาวนานยังหมายถึงความจำเป็นในการเปลี่ยนหลอดใหม่น้อยลง และเวลาในการบำรุงรักษาก็น้อยลงด้วย
รายละเอียดด้านการใช้งาน หลอดฉายแสงเหล่านี้สามารถนำมาใช้ในสายการผลิตแบบมาตรฐานได้ แต่คุณต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าหลอดฉายแสงอยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสมกับเส้นทางของวัสดุและรูปร่างของห้องอบในขณะติดตั้ง คุณควรมีเวลาในการปรับการตั้งค่าเวลาการอบ ความเข้มของแสง และอุณหภูมิให้เหมาะสมกับสูตรการผลิตของคุณ ควรรักษาแรงดันไฟฟ้าให้อยู่ในช่วงที่กำหนด เพราะหากแรงดันไฟฟ้าเกินกว่าที่กำหนด ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิและอายุการใช้งานของหลอดฉายแสงก็จะลดลงอย่างรวดเร็ว