乾燥装置がオーブンのようになるのを防ごう もし、製造現場で働いたことがあるなら、この問題はよく知っているはずです。乾燥処理を行っていると、突然装置の内壁が焼け焦げてしまいます。本当に厄介です。 問題は簡単です。通常の加熱素子では、エネルギーがあらゆる方向に放出されます。確かにウェーハは熱くなります...

なぜ無鉛半導体の硬化に赤外線を利用するのか MEMSセンサーを製造する際、最も避けたいのは基板が汚染されることです。ウェーハは乾燥していて、清潔でなければなりません。それがあるからこそ、私たちは赤外線を利用するのです。赤外線は、煩わしい化学薬品や鉛を含む触媒を使わずに、水分や溶剤を除去できます。つ...

リソグラフィー工程において、フォトレジストを焼成する際に2℃もの温度変動が生じると、それは単なるバラつきではなく、チップに欠陥が生じる直接の原因となります。ウェーハの乾燥や焼成処理では、メンテナンス上の基準ではなく、工程自体の熱的制約を守る必要があります。私たちは、そのような現実に合わせてウェーハ...

アウト工程のフロアでは、最終パッケージング直前のラインが、目に見えないまま歩留まりを削るポイントとなる。乾燥工程から持ち込まれたわずかな水分があれば、剥離やワイヤーボンド内部の空洞、そして数週間後、実装後に初めて表面化する歩留まりの低下に直面することになる。熱ドリフト、粒子発生、計画外停止はいずれ...