Eビームレジスト焼成ヒーター

FabフロアにおけるEビームレジストのベイクはウォームアップではない。プロセスの基準点である。 ホットプレートで2℃のドリフトが発生すれば、クリティカルディメンションのバイアスが変動し、オーバーレイがずれ始める。その結果、スケジュールが遅延しながらリソグラフィセルの歩留まり回復を追いかけることにな...