RTPシステムのヒーターのトラブルシューティング

フロア上で、RTPヒーターの温度が不安定になると、ウェーハ全体の温度も変動してしまいます。わずかでも温度がずれるだけで、フォトレジストの特性が変わってしまいます。また、過度に高温または低温で焼成を行うと、CDの精度をコントロールするのが難しくなります。その結果、スクラップや再作業が発生し、回復不可...