工場でのIR硬化処理への切り替え クリーンルームの設備をアップグレードする際、通常は2つのことを同時に考慮しなければなりません。それは、「環境に優しい無鉛基準」を満たすこと、そして生産効率が低下しないようにすることです。 多くの人はまず対流式オーブンから始めます。しかし正直なところ、大量の空気を加...

ファブフロアでは、フォトレジストのベークプロファイルは推奨事項ではなく、厳守すべき規則である。ソフトベークやハードベーク中の2℃の温度変動はクリティカルディメンションのバイアスを生じさせ、加熱中に1つの粒子が剥離するだけでウェハをスクラップにする可能性がある。熱ドリフト？それはスクラップとダウンタ...