近赤外線 NIR エミッターバルブ

ファブフロアでのフォトレジストベイクにおける0.2℃のドリフトは小さな偏差ではない。これはロットの廃棄を意味する。ウェハレベルの熱均一性がライン幅制御を決定し、熱予算は毎回正確でなければならない。 技術的に重要な点 当社の近赤外線（NIR）エミッターバルブは、ミリメートル未満の熱局所化と安定・再現...