半導体製造工場での炭素削減：なぜ短波長の赤外線がより効果的な加熱方法なのか 正直に言って、半導体製造工場で炭素中和を実現するのは非常に困難です。問題の大部分は、どうやって熱を扱うかという点にあります。長年にわたり、私たちは抵抗加熱を利用してきましたが、これは非効率的です。ウェハーの周囲の空気を温め...

ダストの発生を防ぐ：なぜ金メッキされたIRランプが重要なのか 大量生産のファブでは、ランプが壊れると大問題です。単に部品を交換するだけで済むわけではなく、その後の処理も大変です。通常の石英管が破損すると、微小な粒子がウェーハ全体に飛散してしまいます。一度でも破損すれば、一括での製品が台無しになって...

化学洗浄時にIRヒーターを安全に扱うために 正直言って、半導体の洗浄液の中で赤外線ランプを使うのは、まるで火遊びのようなものです。爆発しやすい蒸気を扱っているわけですから、ちょっとした火花やシールの漏れだけで大惨事につながります。 私たちはそのようなリスクを冒しません。開放型の構造ではなく、すべて...

ウェーハを清潔に保つために：トロリーヒーターの安全性の現状 大量生産を行う半導体工場では、赤外線ランプが壊れると大変な問題になります。修理にかかる時間だけが問題なわけではありません。石英管が破裂すると、ガラスの破片やほこりがウェーハに直接当たってしまいます。これにより、歩留まりが低下し、汚染の問題...

半導体用赤外線ヒーターに適したPTFE絶縁電線の選び方 半導体製造工場で二酸化炭素排出量を実際に減らすためには、ウェーハの加熱方法をより効率的にする必要があります。高効率な赤外線システムが最適です。なぜなら、空気を加熱することなく、ウェーハ自体に直接エネルギーを与えるからです。 しかし、問題もあり...

ウェーハを扱う現場では、迅速に学習が求められます。焼成温度が半度でも変わると、全体のウェーハの寸法に影響が出てしまいます。ソフトベイクやハードベイクというのは、単なる加熱処理ではなく、実際には寸法精度を保つための手段です。もしヒーターがウェーハ全体の均一性や再現性を保てない場合、製品の歩留まりは低...

アウト工程のフロアでは、最終パッケージング直前のラインが、目に見えないまま歩留まりを削るポイントとなる。乾燥工程から持ち込まれたわずかな水分があれば、剥離やワイヤーボンド内部の空洞、そして数週間後、実装後に初めて表面化する歩留まりの低下に直面することになる。熱ドリフト、粒子発生、計画外停止はいずれ...

ファブフロアでは、フォトレジストのベイク中に0.3°Cの温度変動があるだけで、エッチング工程に至る前に大量のウェハが不良となる。熱予算は妥協しない。この現実に対応するために、CE認証取得済みの半導体用ヒーターを開発した。焼成ウィンドウ全体で±0.1°Cのウェハレベルの均一性を維持し、重要寸法が温度...