半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

ウェーハを清潔に保つために：トロリーヒーターの安全性の現状 大量生産を行う半導体工場では、赤外線ランプが壊れると大変な問題になります。修理にかかる時間だけが問題なわけではありません。石英管が破裂すると、ガラスの破片やほこりがウェーハに直接当たってしまいます。これにより、歩留まりが低下し、汚染の問題...